网站导航

什么是MEMS?什么是MEMS压力传感器?

位置:主页 > 行业信息 >

什么是MEMS?什么是MEMS压力传感器?

MEMS,也称为微机电系统,是现代常用设备之一。

对于MEMS,编辑在前两篇文章中进行了解释。

为了增强大家对MEMS的理解,本文将基于以下两点介绍MEMS:1.什么是MEMS; 2. MEMS压力传感器简介。

在本文中,您将对MEMS的定义和MEMS压力传感器的相关知识有初步的了解。

如果您对MEMS及其相关内容感兴趣,不妨继续阅读。

1.什么是MEMS MEMS是英文Micro Electro Mechanical systems的缩写,即微电子机械系统。

微机电系统(MEMS)技术是基于微/纳米技术的21世纪尖端技术。

它是指设计,加工,制造,测量和控制微/纳米材料的技术。

它可以将机械组件,光学系统,驱动器组件和电气控制系统集成到作为整体单元的微型系统中。

这种微电子机械系统不仅可以收集,处理和发送信息或指令,而且可以自主地或根据所获取的信息根据外部指令采取行动。

它结合了微电子技术和微机械加工技术(包括硅体微机械加工,硅表面微机械加工,LIGA和晶片键合技术)来生产各种性能卓越,低成本,小型化的传感器,执行器,驱动器和微系统。

微机电系统(MEMS)是近年来发展起来的一种新型的多学科技术,它将对未来的人类生活产生革命性的影响。

它涉及多个学科,例如机械,电子,化学,物理,光学,生物学和材料。

2. MEMS压力传感器MEMS压力传感器是一种微型机电系统,具有电源,接口电路,执行器,微传感器和信号处理。

它可以用于制造过程和电路设计,低成本和高精度的批量生产。

实际上,传统的压力传感器是当金属弹性体在外力作用下变形时,经历机械量的弹性变形,然后在转换电量后输出。

因此,MEMS压力传感器具有许多优点并且尺寸非常大。

体积小,非常划算。

它主要分为两种类型:硅电容型和硅压阻型。

根据MEMS的相关技术,所制造的电容传感器的形状为水平势垒的形状,上下两个水平势垒可以形成一组传感器。

当上部障碍物受到压力时,它将向下移动。

然后,上下障碍之间的距离将改变。

换句话说,板之间的电容将改变。

变化。

硅压阻式压力传感器使用高精度半导体电阻应变仪形成惠更斯电桥,因此可以用作力-电转换来测量相关电路。

它具有较低的成本,较低的功耗和较高的测量精度。

这种传感器,如果压力不变化,则其输出为零,因此几乎没有功耗。

MEMS硅压阻式压力传感器是压力杯硅膜的内壁,该内壁是固定的且呈圆形。

同时,MEMS技术的应用可以直接雕刻四个高精度半导体应变仪。

它被制造在表面应力最大的地方,因此可以形成惠更斯电桥,因此可以用作将电直接转换为电能并对其进行测量的力电转换测量电路。

MEMS压力传感器的应用非常广泛,工业电子领域:工业配料称重,数字流量计,数字压力表等。

消费电子产品:用于太阳能热水器,洗碗机,饮水机,洗衣机,空调压力传感器,微波炉,健康秤,血压计等的液位控制压力传感器。

汽车电子产品:用于柴油发动机的共轨压力传感器,用于汽车发动机的进气歧管压力传感器,用于汽车制动系统的空气压力传感器以及发动机油压传感器等。

MENS生产许多集成电路中的4英寸圆形晶片的许多工艺。

但是,请务必添加用于MEMS技术的三种独特设备:键合机,双面光刻机和湿蚀刻台。

对于压力传感器制造商,有必要添加昂贵的标准压力检测设备。

对于MEMS制造商,他们需要在消费电子和汽车领域开发渠道和销售经验。








相关信息
行业资讯

欢迎与我们交流!

联系我们

Copyright © 2022 版权所有

在线客服 联系我们 二维码

服务热线

晶圆电阻

扫一扫,微信联系