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光致抗蚀剂的伏安特性是指在一定的光照条件下施加到光刻胶两端的电压和光电流之间的关系。伏安特性曲线当外加电压恒定时，光电流的大小随照度的增加而增加
在使用时光敏电子受耗散功率的限制，其两端的电压不能超过最高工作电压，虚线为允许功耗曲线，由它可以确定光敏电阻的正常工作电压
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